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一种制备碳氮化硅的方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201811411245.8
申请日
:
2018-11-24
公开(公告)号
:
CN109368644A
公开(公告)日
:
2019-02-22
发明(设计)人
:
甘亚
冯良荣
申请人
:
申请人地址
:
610041 四川省成都市一环路南二段16号中国科学院成都有机化学研究所
IPC主分类号
:
C01B3290
IPC分类号
:
C01B32956
C01B21068
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-06-04
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):C01B 32/90 申请日:20181124
2019-02-22
公开
公开
共 50 条
[1]
一种碳氮化硅薄膜的制备方法
[P].
席珍强
论文数:
0
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席珍强
;
徐敏
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徐敏
;
杜平凡
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杜平凡
;
姚剑
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姚剑
.
中国专利
:CN100540730C
,2008-08-20
[2]
一种氮化硅结合氮化硅铁材料的制备方法
[P].
李勇
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李勇
;
秦海霞
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秦海霞
.
中国专利
:CN105152663A
,2015-12-16
[3]
一种氮化硅基板的制备方法及氮化硅基板
[P].
罗贵成
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机构:
四川富乐华半导体科技有限公司
四川富乐华半导体科技有限公司
罗贵成
;
李成安
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机构:
四川富乐华半导体科技有限公司
四川富乐华半导体科技有限公司
李成安
;
杨世兵
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机构:
四川富乐华半导体科技有限公司
四川富乐华半导体科技有限公司
杨世兵
;
詹磊
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机构:
四川富乐华半导体科技有限公司
四川富乐华半导体科技有限公司
詹磊
;
胡桐滔
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机构:
四川富乐华半导体科技有限公司
四川富乐华半导体科技有限公司
胡桐滔
.
中国专利
:CN120664885A
,2025-09-19
[4]
氮化硅的制备方法
[P].
朱青松
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朱青松
;
何文
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何文
;
董占美
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董占美
;
王佳军
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王佳军
;
年夫雪
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年夫雪
.
中国专利
:CN108285132B
,2018-07-17
[5]
制备氮化硅的方法
[P].
罗栋
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罗栋
;
关英来
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关英来
;
王杨
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王杨
;
秦国强
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秦国强
.
中国专利
:CN101397130A
,2009-04-01
[6]
一种氮化硅的制备方法和生产氮化硅的系统
[P].
银波
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银波
;
夏高强
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夏高强
;
范协诚
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范协诚
;
宋高杰
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宋高杰
.
中国专利
:CN106672923A
,2017-05-17
[7]
一种碳氮化硅薄膜及其制备方法和应用
[P].
程兰云
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机构:
合肥安德科铭半导体科技有限公司
合肥安德科铭半导体科技有限公司
程兰云
;
扈静
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机构:
合肥安德科铭半导体科技有限公司
合肥安德科铭半导体科技有限公司
扈静
;
芮祥新
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机构:
合肥安德科铭半导体科技有限公司
合肥安德科铭半导体科技有限公司
芮祥新
;
汪穹宇
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机构:
合肥安德科铭半导体科技有限公司
合肥安德科铭半导体科技有限公司
汪穹宇
;
李建恒
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机构:
合肥安德科铭半导体科技有限公司
合肥安德科铭半导体科技有限公司
李建恒
.
中国专利
:CN117364061A
,2024-01-09
[8]
一种氮化硅的制备方法
[P].
田卓
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田卓
;
刘淑贞
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刘淑贞
;
马天龙
论文数:
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马天龙
.
中国专利
:CN115072678A
,2022-09-20
[9]
碳氮化硅点火器
[P].
陈长明
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陈长明
;
包春华
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包春华
;
旷建平
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旷建平
;
杨雪峰
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杨雪峰
;
葛卫
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葛卫
.
中国专利
:CN201513920U
,2010-06-23
[10]
一种制备氮化硅的方法
[P].
程卓
论文数:
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0
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程卓
.
中国专利
:CN105884373A
,2016-08-24
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