一种制备碳氮化硅的方法

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专利类型
发明
申请号
CN201811411245.8
申请日
2018-11-24
公开(公告)号
CN109368644A
公开(公告)日
2019-02-22
发明(设计)人
甘亚 冯良荣
申请人
申请人地址
610041 四川省成都市一环路南二段16号中国科学院成都有机化学研究所
IPC主分类号
C01B3290
IPC分类号
C01B32956 C01B21068
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
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共 50 条
[1]
一种碳氮化硅薄膜的制备方法 [P]. 
席珍强 ;
徐敏 ;
杜平凡 ;
姚剑 .
中国专利 :CN100540730C ,2008-08-20
[2]
一种氮化硅结合氮化硅铁材料的制备方法 [P]. 
李勇 ;
秦海霞 .
中国专利 :CN105152663A ,2015-12-16
[3]
一种氮化硅基板的制备方法及氮化硅基板 [P]. 
罗贵成 ;
李成安 ;
杨世兵 ;
詹磊 ;
胡桐滔 .
中国专利 :CN120664885A ,2025-09-19
[4]
氮化硅的制备方法 [P]. 
朱青松 ;
何文 ;
董占美 ;
王佳军 ;
年夫雪 .
中国专利 :CN108285132B ,2018-07-17
[5]
制备氮化硅的方法 [P]. 
罗栋 ;
关英来 ;
王杨 ;
秦国强 .
中国专利 :CN101397130A ,2009-04-01
[6]
一种氮化硅的制备方法和生产氮化硅的系统 [P]. 
银波 ;
夏高强 ;
范协诚 ;
宋高杰 .
中国专利 :CN106672923A ,2017-05-17
[7]
一种碳氮化硅薄膜及其制备方法和应用 [P]. 
程兰云 ;
扈静 ;
芮祥新 ;
汪穹宇 ;
李建恒 .
中国专利 :CN117364061A ,2024-01-09
[8]
一种氮化硅的制备方法 [P]. 
田卓 ;
刘淑贞 ;
马天龙 .
中国专利 :CN115072678A ,2022-09-20
[9]
碳氮化硅点火器 [P]. 
陈长明 ;
包春华 ;
旷建平 ;
杨雪峰 ;
葛卫 .
中国专利 :CN201513920U ,2010-06-23
[10]
一种制备氮化硅的方法 [P]. 
程卓 .
中国专利 :CN105884373A ,2016-08-24