碳化硅晶体生长坩埚及生长方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202111361145.0
申请日
2021-11-17
公开(公告)号
CN114059163A
公开(公告)日
2022-02-18
发明(设计)人
杨弥珺 赵新田
申请人
申请人地址
315314 浙江省宁波市慈溪市周巷镇环城南路304号
IPC主分类号
C30B2936
IPC分类号
C30B2300
代理机构
北京高沃律师事务所 11569
代理人
李胜强
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
碳化硅晶体生长坩埚、籽晶及晶体生长方法 [P]. 
欧阳鹏根 ;
张志伟 ;
汪传勇 ;
胡建荣 .
中国专利 :CN119710929A ,2025-03-28
[2]
碳化硅晶体生长方法及生长装置 [P]. 
马远 ;
潘尧波 .
中国专利 :CN112663136A ,2021-04-16
[3]
碳化硅晶体生长方法及生长装置 [P]. 
马远 ;
潘尧波 .
中国专利 :CN112553691A ,2021-03-26
[4]
碳化硅晶体生长用坩埚及碳化硅晶体生长装置 [P]. 
徐良 ;
蓝文安 ;
刘建哲 ;
余雅俊 ;
李京波 ;
夏建白 ;
陈素春 .
中国专利 :CN215404657U ,2022-01-04
[5]
碳化硅晶体生长用坩埚和碳化硅晶体生长装置 [P]. 
徐良 ;
曹力力 ;
蓝文安 ;
朱卫祥 ;
阳明益 ;
刘建哲 ;
余雅俊 .
中国专利 :CN210974929U ,2020-07-10
[6]
碳化硅晶体生长坩埚及其制备方法、晶体生长炉 [P]. 
李丙菊 ;
廖雨舟 ;
谭善宥 ;
吴海源 ;
彭浩波 ;
李军 ;
廖寄乔 .
中国专利 :CN117626417A ,2024-03-01
[7]
碳化硅晶体生长方法、装置及碳化硅晶体 [P]. 
侯磊 .
中国专利 :CN120401012A ,2025-08-01
[8]
碳化硅晶体生长方法、装置及碳化硅晶体 [P]. 
侯磊 .
中国专利 :CN120465104A ,2025-08-12
[9]
一种碳化硅晶体生长装置及碳化硅晶体生长方法 [P]. 
郭超 ;
母凤文 .
中国专利 :CN114481293A ,2022-05-13
[10]
生长坩埚及碳化硅晶体生长装置 [P]. 
吴亚娟 ;
陈俊宏 ;
李兆颖 ;
周来平 .
中国专利 :CN217378098U ,2022-09-06