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原子层沉积装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200910265830.6
申请日：
2009-12-28
公开(公告)号：
CN101768731B
公开(公告)日：
2010-07-07
发明(设计)人：
申寅澈
金京俊
申请人：
申请人地址：
韩国京畿道安城市
IPC主分类号：
C23C1644
IPC分类号：
C23C1654
代理机构：
北京铭硕知识产权代理有限公司 11286
代理人：
韩明星;罗延红
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2010-09-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005580472 IPC(主分类):C23C 16/44 专利申请号:2009102658306 申请日:20091228 |
| 2018-09-18 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/44 变更事项:专利权人 变更前:K.C.科技股份有限公司 变更后:KC股份有限公司 变更事项:地址 变更前:韩国京畿道安城市 变更后:韩国京畿道安城市 |
| 2010-07-07 | 公开 | 公开 |
| 2012-10-17 | 授权 | 授权 |
| 2018-09-18 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/44 登记生效日:20180830 变更事项:专利权人 变更前权利人:KC股份有限公司 变更后权利人:凯斯科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:韩国京畿道安城市 变更后权利人:韩国京畿道安城市 |