一种半导体晶圆搬运设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120858689.7

申请日：

2021-04-25

公开(公告)号：

CN215364721U

公开(公告)日：

2021-12-31

发明(设计)人：

邬正杰柴之槟

申请人：

申请人地址：

201600 上海市松江区新桥镇新站路361号

IPC主分类号：

B66F9065

IPC分类号：

B66F918 B66F9075

代理机构：

北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 11947

代理人：

吴佳佳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-31	授权	授权

共 50 条

[1]

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[2]

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[3]

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张宏旸 .

中国专利 :CN202166428U ,2012-03-14

[4]

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王俊 ;

金嘉辉 ;

周魏 ;

程宏 ;

王勤 ;

傅丁丁 .

中国专利 :CN209592004U ,2019-11-05

[5]

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张红 ;

焦艳 .

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[6]

半导体晶圆搬运容器 [P].

广瀬贤一 .

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[7]

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[8]

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[9]

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温子瑛 ;

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[10]

一种半导体晶圆检测设备 [P].

王俊 ;

金嘉辉 ;

周魏 ;

程宏 ;

王勤 ;

傅丁丁 .

中国专利 :CN209979788U ,2020-01-21

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