共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
用于光刻机预对准系统的硅片放置装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311453004.0
申请日：
2023-11-03
公开(公告)号：
CN117471865B
公开(公告)日：
2024-04-30
发明(设计)人：
刘正伟
朱凯彬
魏益波
申请人：
江苏雷博微电子设备有限公司
申请人地址：
214400 江苏省无锡市江阴市金山路201号创智产业园数码港D座一楼
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
G03F9/00
H01L21/687
H01L21/67
代理机构：
北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246
代理人：
戚星
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省
无锡市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20231103 |
| 2024-04-30 | 授权 | 授权 |
| 2024-01-30 | 公开 | 公开 |