一种3C-SiC单晶体的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311734691.3
申请日
2023-12-18
公开(公告)号
CN117418309B
公开(公告)日
2024-03-08
发明(设计)人
黄秀松 郭超 母凤文
申请人
北京青禾晶元半导体科技有限责任公司 青禾晶元(晋城)半导体材料有限公司
申请人地址
100083 北京市海淀区花园北路25号小关(厂南区)4号楼1层146
IPC主分类号
C30B25/18
IPC分类号
C30B29/36 C30B33/08
代理机构
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人
曾菊花
法律状态
专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更
国省代码
北京市
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共 50 条
[1]
一种3C-SiC单晶体的制备方法 [P]. 
黄秀松 ;
郭超 ;
母凤文 .
中国专利 :CN117418309A ,2024-01-19
[2]
一种高热导率3C-SiC多晶基板及其制备方法 [P]. 
黄秀松 ;
郭超 ;
母凤文 .
中国专利 :CN117438391A ,2024-01-23
[3]
一种高热导率3C-SiC多晶基板及其制备方法 [P]. 
黄秀松 ;
郭超 ;
母凤文 .
中国专利 :CN117438391B ,2024-03-15
[4]
用于制备3C-SiC单晶的方法 [P]. 
陈小龙 ;
李辉 ;
王国宾 ;
盛达 ;
王文军 ;
郭建刚 .
中国专利 :CN115976625B ,2024-03-05
[5]
3C-SiC单晶外延基板的制造方法、3C-SiC自支撑基板的制造方法及3C-SiC单晶外延基板 [P]. 
大槻刚 ;
阿部达夫 ;
铃木温 ;
松原寿树 .
日本专利 :CN120418486A ,2025-08-01
[6]
SiC单晶体的制造装置和SiC单晶体的制造方法 [P]. 
冈田信宏 ;
龟井一人 ;
楠一彦 ;
矢代将齐 ;
森口晃治 ;
大黑宽典 ;
铃木宽 ;
石井伴和 ;
坂元秀光 ;
加渡干尚 ;
河合洋一郎 .
中国专利 :CN103282559B ,2013-09-04
[7]
SiC单晶体的制造装置以及SiC单晶体的制造方法 [P]. 
楠一彦 ;
龟井一人 ;
矢代将齐 ;
冈田信宏 ;
大黑宽典 ;
加渡干尚 ;
坂元秀光 .
中国专利 :CN103620094A ,2014-03-05
[8]
SiC单晶体的制造装置和SiC单晶体的制造方法 [P]. 
冈田信宏 ;
龟井一人 ;
楠一彦 ;
矢代将齐 ;
森口晃治 ;
大黑宽典 ;
加渡幹尚 ;
坂元秀光 .
中国专利 :CN104471117B ,2015-03-25
[9]
SiC单晶体的制造方法 [P]. 
加渡干尚 ;
楠一彦 ;
龟井一人 .
中国专利 :CN104603336A ,2015-05-06
[10]
单晶3C-SiC基板的制造方法以及通过该方法获得的单晶3C-SiC基板 [P]. 
浅村英俊 ;
川村启介 ;
小原智 .
中国专利 :CN102822395A ,2012-12-12