对中调整块、定心机构及晶圆加工设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322205166.4

申请日：

2023-08-16

公开(公告)号：

CN220585196U

公开(公告)日：

2024-03-12

发明(设计)人：

王永强葛凡陈丛余孙志超周鑫

申请人：

江苏京创先进电子科技有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市常熟市经济技术开发区海城路2号9幢

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/687

代理机构：

南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297

代理人：

顾祥安

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-12	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆对中机构、晶圆加工设备和晶圆对中控制方法 [P].

刘海超 ;

吴进军 ;

徐斌 ;

杨生荣 ;

徐学舟 ;

高晓东 .

中国专利 :CN120784199A ,2025-10-14

[2]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 .

中国专利 :CN113130363A ,2021-07-16

[3]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 .

中国专利 :CN113130363B ,2025-09-26

[4]

晶圆转运机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212161773U ,2020-12-15

[5]

晶圆传输机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212380401U ,2021-01-19

[6]

一种晶圆对中调平装置及晶圆加工设备 [P].

胡章坤 ;

庭玉超 ;

于光明 ;

高阳 .

中国专利 :CN217239425U ,2022-08-19

[7]

晶圆夹持件、晶圆夹持机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212161786U ,2020-12-15

[8]

晶圆对准打光机构及晶圆加工设备 [P].

周鑫 ;

葛凡 ;

孙志超 ;

陈丛余 ;

王永强 .

中国专利 :CN220428880U ,2024-02-02

[9]

一种晶圆对中机构及半导体加工设备 [P].

孙鹏达 ;

于乐 ;

张耀庚 ;

王园 ;

张昊宇 .

中国专利 :CN223273242U ,2025-08-26

[10]

机械式自动对中定心机构和自动对中定心机 [P].

韩淑敏 ;

朱晓峰 ;

宗艳 ;

马骞 ;

冯永旭 ;

胡洋 .

中国专利 :CN201803769U ,2011-04-20

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