一种晶圆预对准装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410160859.2

申请日：

2024-02-05

公开(公告)号：

CN117712006B

公开(公告)日：

2024-04-19

发明(设计)人：

陆敏杰贺慧平高俊

申请人：

无锡星微科技有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号F11栋二楼创新孵化器A06

IPC主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/683

代理机构：

北京国翰知识产权代理事务所(普通合伙) 11696

代理人：

叶帅东

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/68申请日:20240205
2024-03-15	公开	公开
2024-04-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆预对准装置 [P].

陆敏杰 ;

贺慧平 ;

高俊 .

中国专利 :CN117712006A ,2024-03-15

[2]

一种晶圆预对准装置和晶圆预对准方法 [P].

王刚 ;

杨思雨 ;

付红艳 ;

郎新科 ;

刘浩 .

中国专利 :CN114695225A ,2022-07-01

[3]

晶圆预对准装置及晶圆预对准方法 [P].

金攀 ;

肖蓉 ;

周许超 ;

刘涛 ;

潘炼东 .

中国专利 :CN117616548A ,2024-02-27

[4]

晶圆预对准装置 [P].

邓帅飞 ;

肖蓉 ;

李运锋 ;

潘炼东 .

中国专利 :CN215299213U ,2021-12-24

[5]

晶圆预对准装置 [P].

边弘晔 ;

张鹏 ;

陈守良 ;

曲道奎 ;

徐方 ;

李学威 ;

温燕修 ;

邹风山 .

中国专利 :CN103199050B ,2013-07-10

[6]

晶圆预对准装置 [P].

杨涧 ;

王通 ;

吕瑞卿 .

中国专利 :CN220856535U ,2024-04-26

[7]

晶圆预对准装置 [P].

陈庆生 ;

赵相宰 ;

霍旭坤 .

中国专利 :CN309051024S ,2025-01-03

[8]

晶圆预对准装置 [P].

郎叶威 ;

蒋志韬 ;

冯金武 .

中国专利 :CN222673000U ,2025-03-25

[9]

晶圆预对准装置及晶圆预对准系统 [P].

王洪宇 ;

李思 ;

杨树文 ;

李霖 ;

于朋扬 .

中国专利 :CN114664719A ,2022-06-24

[10]

一种晶圆预对准装置 [P].

郎叶威 ;

蒋志韬 ;

冯金武 .

中国专利 :CN221427699U ,2024-07-26

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