等离子体发生装置和晶圆加工设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322343201.9

申请日：

2023-08-30

公开(公告)号：

CN220711697U

公开(公告)日：

2024-04-02

发明(设计)人：

郭振

申请人：

颀中科技（苏州）有限公司合肥颀中科技股份有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区凤里街166号

IPC主分类号：

H05H1/24

IPC分类号：

H05H1/46 H05K7/20 H01J37/32 H01L21/67

代理机构：

苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235

代理人：

毛方方

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-02	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆托盘组件和等离子体加工设备 [P].

张彬彬 ;

苏财钰 ;

张涛 ;

苟先华 ;

肖峰 .

中国专利 :CN213278041U ,2021-05-25

[2]

等离子体发生设备和半导体加工设备 [P].

项习飞 ;

田才忠 ;

林保璋 ;

李士昌 .

中国专利 :CN216905414U ,2022-07-05

[3]

等离子体约束装置和等离子体加工设备 [P].

南建辉 ;

宋巧丽 .

中国专利 :CN101383278B ,2009-03-11

[4]

微波等离子体发生装置 [P].

赵义党 ;

李志强 ;

李志华 ;

廖文晗 ;

贝亮 .

中国专利 :CN214429764U ,2021-10-19

[5]

等离子体发生装置和半导体处理设备 [P].

李垚 ;

陈伏宏 ;

易飞 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208434160U ,2019-01-25

[6]

等离子体发生装置 [P].

李海涛 .

中国专利 :CN211860639U ,2020-11-03

[7]

等离子体发生装置 [P].

何艾华 ;

庞爱锁 ;

林佳继 ;

刘群 .

中国专利 :CN220528267U ,2024-02-23

[8]

等离子体发生装置 [P].

李衎 .

中国专利 :CN2867790Y ,2007-02-07

[9]

等离子体发生装置 [P].

马明宇 ;

施国志 ;

王铭昭 ;

罗汉兵 .

中国专利 :CN221409198U ,2024-07-23

[10]

等离子体发生装置和等离子体发生装置的用途 [P].

德克兰·安德鲁·迪韦尔 ;

休·波茨 .

中国专利 :CN102714912A ,2012-10-03

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