大面积等离子体放电结构及真空镀膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311481852.2

申请日：

2023-11-08

公开(公告)号：

CN117403213A

公开(公告)日：

2024-01-16

发明(设计)人：

曹新民陈晨周剑王登志田罡煜张斌房现飞王青松王凤明

申请人：

苏州迈为科技股份有限公司苏州迈正科技有限公司

申请人地址：

215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号

IPC主分类号：

C23C16/509

IPC分类号：

C23C16/455

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

刘宁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/509申请日:20231108
2024-01-16	公开	公开

共 50 条

[1]

大面积等离子体放电结构及真空镀膜设备 [P].

曹新民 ;

陈晨 ;

周剑 ;

王登志 ;

田罡煜 ;

张斌 ;

房现飞 ;

王青松 ;

王凤明 .

中国专利 :CN221720927U ,2024-09-17

[2]

大面积大气等离子体均匀放电电极 [P].

王波 ;

金会良 ;

姚英学 ;

李娜 ;

车琳 ;

辛强 ;

金江 ;

李铎 .

中国专利 :CN103269556A ,2013-08-28

[3]

大面积等离子体源 [P].

韦恩·L·约翰逊 .

中国专利 :CN1334885A ,2002-02-06

[4]

大面积平板常压射频冷等离子体放电装置 [P].

王守国 ;

赵玲利 .

中国专利 :CN2870385Y ,2007-02-14

[5]

柔性大面积辉光放电等离子体消毒灭菌装置 [P].

李三喜 ;

刘文正 ;

高配根 .

中国专利 :CN216357436U ,2022-04-19

[6]

柔性大面积辉光放电等离子体消毒灭菌装置 [P].

李三喜 ;

刘文正 ;

高配根 .

中国专利 :CN113438789A ,2021-09-24

[7]

微波脉冲等离子体真空镀膜装置 [P].

高忠义 .

中国专利 :CN204298452U ,2015-04-29

[8]

真空等离子体镀膜设备（4） [P].

何培忠 .

中国专利 :CN305516419S ,2019-12-27

[9]

真空等离子体镀膜设备（5） [P].

何培忠 .

中国专利 :CN305473056S ,2019-12-03

[10]

大面积并联高密度感应耦合等离子体源 [P].

辛煜 ;

宁兆元 .

中国专利 :CN2907173Y ,2007-05-30

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