半导体清洗设备及其配液装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322236173.0

申请日：

2023-08-18

公开(公告)号：

CN220672526U

公开(公告)日：

2024-03-26

发明(设计)人：

王雨寒

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

B08B13/00 B08B3/04

代理机构：

北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315

代理人：

施敬勃

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-26	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体清洗设备及其补液装置 [P].

王昭 ;

王广永 .

中国专利 :CN222619692U ,2025-03-14

[2]

半导体清洗设备及其补液装置 [P].

张亚斌 ;

王锐廷 ;

赵宏宇 ;

王昭 ;

刘东旭 ;

王龙 .

中国专利 :CN222355079U ,2025-01-14

[3]

半导体清洗设备及其混液装置 [P].

赵益春 ;

韩国清 .

中国专利 :CN114893595A ,2022-08-12

[4]

进液装置及半导体清洗设备 [P].

杨树国 ;

张虎 ;

张明 .

中国专利 :CN113414165A ,2021-09-21

[5]

半导体清洗设备及其承载装置 [P].

宋爱军 ;

赵宏宇 ;

许璐 ;

徐剑楠 .

中国专利 :CN112466805B ,2024-05-17

[6]

半导体清洗设备及其承载装置 [P].

陈忠明 ;

宋爱军 ;

赵宏宇 ;

张敬博 .

中国专利 :CN114639632B ,2025-08-26

[7]

半导体清洗设备及其承载装置 [P].

宋爱军 ;

赵宏宇 ;

许璐 ;

徐剑楠 .

中国专利 :CN112466805A ,2021-03-09

[8]

半导体清洗设备及其承载装置 [P].

陈忠明 ;

宋爱军 ;

赵宏宇 ;

张敬博 .

中国专利 :CN114639632A ,2022-06-17

[9]

用于半导体清洗设备的储液箱及半导体清洗设备 [P].

张朝轩 ;

巫双 ;

张明 ;

程壮壮 ;

李星 ;

王琳 ;

韩国清 .

中国专利 :CN217888866U ,2022-11-25

[10]

半导体清洗设备及其清洗方法 [P].

马宏帅 ;

赵宏宇 ;

王锐廷 .

中国专利 :CN115090602A ,2022-09-23

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