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一种平板蚀刻用工艺及其装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111412564.2
申请日：
2021-11-25
公开(公告)号：
CN113981446B
公开(公告)日：
2024-01-19
发明(设计)人：
冯连国
申请人：
江苏佰元鸿金属科技有限公司
申请人地址：
224200 江苏省盐城市东台市东台镇电子商务产业园龙光东路25号
IPC主分类号：
C23F1/08
IPC分类号：
G03F7/00
代理机构：
北京众合佳创知识产权代理有限公司 16020
代理人：
康宇宁
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
盐城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-19 | 授权 | 授权 |