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对准标记及图形对准方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410001827.8
申请日：
2024-01-02
公开(公告)号：
CN117492336B
公开(公告)日：
2024-04-09
发明(设计)人：
罗先刚
刘吉夫
李伟
李雄
张仁彦
申请人：
天府兴隆湖实验室
申请人地址：
610213 四川省成都市天府新区科智路999号
IPC主分类号：
G03F9/00
IPC分类号：
H01L21/68
代理机构：
成都元信知识产权代理有限公司 51234
代理人：
刘珍
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-02 | 公开 | 公开 |
| 2024-04-09 | 授权 | 授权 |
| 2024-02-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 9/00申请日:20240102 |