学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

曝光装置及检查方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280046271.3
申请日：
2022-06-27
公开(公告)号：
CN117581163A
公开(公告)日：
2024-02-20
发明(设计)人：
加藤正纪 水野仁 水野恭志
申请人：
株式会社尼康
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
李文屿
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-02-20 公开 公开
2024-03-08 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20220627
共 50 条
[1]
曝光装置、曝光方法及电子器件的制造方法 [P]. 
加藤正纪 ;
水野仁 ;
水野恭志 .
日本专利 :CN117581162A ,2024-02-20
[2]
曝光装置、曝光方法及平板显示器的制造方法 [P]. 
加藤正纪 ;
水野仁 ;
水野恭志 .
日本专利 :CN117597629A ,2024-02-23
[3]
曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法及曝光数据生成方法 [P]. 
加藤正纪 ;
水野仁 .
日本专利 :CN117597632A ,2024-02-23
[4]
曝光装置以及器件制造方法 [P]. 
加藤正纪 ;
水野仁 ;
水野恭志 .
日本专利 :CN117651911A ,2024-03-05
[5]
曝光装置及曝光方法 [P]. 
豊田光纪 ;
谷津修 ;
竹内裕一郎 ;
蛭川茂 ;
诹访恭一 ;
中岛利治 .
中国专利 :CN1407408A ,2003-04-02
[6]
曝光装置及曝光方法 [P]. 
熊泽雅人 .
中国专利 :CN105652609A ,2016-06-08
[7]
曝光方法、曝光装置和器件制造方法 [P]. 
大和壮一 ;
渡边阳司 .
中国专利 :CN109164682B ,2019-01-08
[8]
曝光装置、曝光方法及电子组件的制造方法 [P]. 
加藤正纪 ;
水野仁 ;
水野恭志 .
日本专利 :CN117546099A ,2024-02-09
[9]
曝光装置的检查方法 [P]. 
福原和也 ;
井上壮一 .
中国专利 :CN101063827A ,2007-10-31
[10]
控制装置及控制方法、曝光装置及曝光方法、元件制造方法、数据生成方法和计算机可读介质 [P]. 
屋敷賢 .
中国专利 :CN110431486B ,2019-11-08
12345