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激光加工装置、激光加工方法和电子器件的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202180099554.X
申请日：
2021-08-31
公开(公告)号：
CN117500631A
公开(公告)日：
2024-02-02
发明(设计)人：
川筋康文
阿达康弘
诹访辉
申请人：
极光先进雷射株式会社
申请人地址：
日本栃木县
IPC主分类号：
B23K26/382
IPC分类号：
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
于英慧
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-02 | 公开 | 公开 |
| 2024-07-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B23K 26/382申请日:20210831 |