一种强极化异质结Fin-HEMT器件及制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311613939.0
申请日
2023-11-28
公开(公告)号
CN117542886A
公开(公告)日
2024-02-09
发明(设计)人
吴畅 王凯 邢绍琨 刘捷龙 郭涛
申请人
湖北九峰山实验室
申请人地址
430000 湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号19层
IPC主分类号
H01L29/778
IPC分类号
H01L29/267 H01L21/34
代理机构
武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242
代理人
张文静
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种强极化异质结Fin-HEMT器件及制备方法 [P]. 
吴畅 ;
王凯 ;
邢绍琨 ;
刘捷龙 ;
郭涛 .
中国专利 :CN117542886B ,2025-09-05
[2]
一种具有强极化异质结沟道的Fin-HEMT及其制备方法 [P]. 
吴畅 ;
王凯 ;
耿茂华 ;
周瑞 ;
黄镇 .
中国专利 :CN117059661B ,2025-07-25
[3]
极性氧化镓极化异质结多沟道Fin-HEMT器件及其制备方法 [P]. 
吴畅 ;
王凯 ;
刘捷龙 ;
郭涛 ;
邢绍琨 .
中国专利 :CN117038711B ,2024-11-19
[4]
一种基于GaN异质结材料的Fin-HEMT器件 [P]. 
张鹏 ;
宓珉翰 ;
何云龙 ;
张濛 ;
马晓华 ;
郝跃 .
中国专利 :CN105390540A ,2016-03-09
[5]
一种基于GaN异质结材料的Fin-HEMT器件及其制备方法 [P]. 
张鹏 ;
宓珉翰 ;
何云龙 ;
张濛 ;
马晓华 ;
郝跃 .
中国专利 :CN105789295A ,2016-07-20
[6]
基于AlN衬底上AlN缓冲层的异质结HEMT器件及制备方法 [P]. 
周弘 ;
张超群 ;
胡超杰 ;
刘志宏 ;
张进成 ;
郝跃 .
中国专利 :CN119562556A ,2025-03-04
[7]
一种具有氧化镓氮化镓异质结的Fin-HEMT及其制作方法 [P]. 
吴畅 ;
王凯 ;
刘安 ;
刘捷龙 ;
邢绍琨 .
中国专利 :CN120603283A ,2025-09-05
[8]
一种多沟道Fin-HEMT器件及其制备方法 [P]. 
张鹏 ;
刘文韬 ;
祝杰杰 ;
张濛 ;
马晓华 .
中国专利 :CN120187054A ,2025-06-20
[9]
一种基于GaN基HEMT器件的Fin-HEMT器件及其制备方法 [P]. 
张鹏 ;
何云龙 ;
宓珉翰 ;
张濛 ;
马晓华 ;
郝跃 .
中国专利 :CN105428411A ,2016-03-23
[10]
一种基于GaN基HEMT器件的Fin-HEMT器件及其制备方法 [P]. 
张鹏 ;
何云龙 ;
宓珉翰 ;
张濛 ;
马晓华 ;
郝跃 .
中国专利 :CN105355557A ,2016-02-24