处理装置及处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080005934.8

申请日：

2020-01-22

公开(公告)号：

CN112970095B

公开(公告)日：

2024-05-03

发明(设计)人：

内田健哉福井博之植松育生岩本武明权垠相

申请人：

株式会社东芝铠侠股份有限公司国立大学法人东北大学

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21/205

IPC分类号：

C23C16/44

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

白丽

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-03	授权	授权

共 50 条

[1]

处理装置及处理方法 [P].

内田健哉 ;

福井博之 ;

植松育生 ;

岩本武明 ;

权垠相 .

中国专利 :CN112970095A ,2021-06-15

[2]

处理装置及处理方法 [P].

佐佐木真一 ;

添田胜之 ;

西部幸伸 .

中国专利 :CN104037108A ,2014-09-10

[3]

基板处理装置及处理方法 [P].

詹育颖 ;

王敬龙 ;

许文诚 ;

曾增魁 ;

邓振坤 ;

谢和利 .

中国专利 :CN1707314A ,2005-12-14

[4]

废气处理方法及处理装置 [P].

川端宏文 .

中国专利 :CN102143794A ,2011-08-03

[5]

处理液供给装置及方法、处理液及基板处理装置及方法 [P].

宫城雅宏 ;

荒木浩之 ;

铃木政典 ;

佐藤朋且 ;

川濑信雄 .

中国专利 :CN104662644A ,2015-05-27

[6]

一种钢板表面处理方法及处理装置 [P].

孙锦民 ;

杨茂伟 ;

朱键宇 ;

黄业裕 .

中国专利 :CN109468631A ,2019-03-15

[7]

抛光处理装置、基板处理装置及抛光处理方法 [P].

山口都章 ;

小畠严贵 ;

水野稔夫 .

中国专利 :CN105500181A ,2016-04-20

[8]

凝集处理方法、凝集处理装置及水处理装置 [P].

石井聪之 ;

冲代贤次 ;

佐佐木洋 .

中国专利 :CN104418419A ,2015-03-18

[9]

处理装置及方法 [P].

铃木伸昌 .

中国专利 :CN1614739A ,2005-05-11

[10]

基板处理装置及基板处理方法 [P].

大宅宗明 ;

北村翔也 .

日本专利 :CN117393462A ,2024-01-12

← 1 2 3 4 5 →