处理装置及处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410080006.4

申请日：

2014-03-06

公开(公告)号：

CN104037108A

公开(公告)日：

2014-09-10

发明(设计)人：

佐佐木真一添田胜之西部幸伸

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

王成坤;胡建新

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-04-19	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101750177745 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2014100800064 申请公布日:20140910
2014-10-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587401849 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2014100800064 申请日:20140306

共 50 条

[1]

表面处理装置及表面处理方法 [P].

奥田朋士 ;

松山大辅 ;

立花真司 ;

内海雅之 .

中国专利 :CN111094635A ,2020-05-01

[2]

处理装置及处理方法 [P].

伊藤猛 ;

齐藤智一 .

中国专利 :CN1959572A ,2007-05-09

[3]

处理装置及处理方法 [P].

内田健哉 ;

福井博之 ;

植松育生 ;

岩本武明 ;

权垠相 .

中国专利 :CN112970095A ,2021-06-15

[4]

处理装置及处理方法 [P].

内田健哉 ;

福井博之 ;

植松育生 ;

岩本武明 ;

权垠相 .

日本专利 :CN112970095B ,2024-05-03

[5]

处理装置和处理方法 [P].

藤田博 ;

矶明典 ;

添田胜之 ;

西部幸伸 ;

佐佐木真一 .

中国专利 :CN103301992B ,2013-09-18

[6]

处理装置及处理液的再利用方法 [P].

平川雅章 ;

松井绘美 .

中国专利 :CN105428274A ,2016-03-23

[7]

流体处理装置及处理方法 [P].

榎村真一 .

中国专利 :CN102574095B ,2012-07-11

[8]

流体处理装置及处理方法 [P].

榎村真一 .

中国专利 :CN102781569B ,2012-11-14

[9]

基板处理装置及处理方法 [P].

詹育颖 ;

王敬龙 ;

许文诚 ;

曾增魁 ;

邓振坤 ;

谢和利 .

中国专利 :CN1707314A ,2005-12-14

[10]

流体处理装置及处理方法 [P].

榎村真一 .

中国专利 :CN103331112A ,2013-10-02

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