单层MoS<sub>2</sub>薄膜的制备方法、薄膜材料、组件及装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202410181289.5
申请日
2024-02-18
公开(公告)号
CN118028751A
公开(公告)日
2024-05-14
发明(设计)人
崔义 雷浩 魏伟 龚忠苗
申请人
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请人地址
215123 江苏省苏州市工业园区若水路398号
IPC主分类号
C23C14/35
IPC分类号
C23C14/06 C23C14/16 C23C14/58
代理机构
苏州三英知识产权代理有限公司 32412
代理人
朱如松
法律状态
实质审查的生效
国省代码
北京市
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共 50 条
[1]
一种均匀单层MA<sub>2</sub>Z<sub>4</sub>薄膜的制备方法 [P]. 
任文才 ;
孙素 ;
徐川 ;
何承俭 ;
成会明 .
中国专利 :CN118166333A ,2024-06-11
[2]
一种晶圆级单层MoS<sub>2</sub>薄膜及其制备方法 [P]. 
王勇 ;
成梓萱 ;
杨定怡 ;
刘艳 ;
韩根全 ;
郝跃 .
中国专利 :CN119243114A ,2025-01-03
[3]
一种晶圆级单层MoS<sub>2</sub>薄膜及其制备方法 [P]. 
王勇 ;
成梓萱 ;
杨定怡 ;
刘艳 ;
韩根全 ;
郝跃 .
中国专利 :CN119243114B ,2025-10-10
[4]
Sb<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜材料及基于溶胶-凝胶法制备Sb<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜材料的方法和应用 [P]. 
李欣芮 ;
何秋蔚 ;
赵雨杰 ;
陈雪 ;
彭彪林 ;
刘来君 .
中国专利 :CN114774891B ,2024-01-16
[5]
一种成分连续可调的均匀掺杂单层MA<sub>2</sub>Z<sub>4</sub>合金薄膜的制备方法 [P]. 
任文才 ;
孙素 ;
徐川 ;
成会明 .
中国专利 :CN118127462A ,2024-06-04
[6]
一种通过磁控溅射在Si/SiO<sub>2</sub>衬底上制备HfO<sub>2</sub>薄膜优化Bi<sub>2</sub>O<sub>2</sub>Se薄膜生长的方法及Bi<sub>2</sub>O<sub>2</sub>Se薄膜 [P]. 
唐家轩 ;
徐锋 ;
徐桂舟 ;
陈喜 ;
陈雨莹 .
中国专利 :CN118880257A ,2024-11-01
[7]
一种应变诱导铁磁性Mn掺杂MoS<sub>2</sub>薄膜材料及其制备方法 [P]. 
林雪玲 ;
潘凤春 ;
高华 .
中国专利 :CN121127117A ,2025-12-12
[8]
一种基于α-Fe<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/MoS<sub>2</sub>复合薄膜材料的室温氨气传感器及其制备方法 [P]. 
李显 ;
钱荣 ;
曾旺 ;
泮嘉玮 ;
何成根 ;
盛成 .
中国专利 :CN120847207A ,2025-10-28
[9]
一种镁合金表面TiO<sub>2</sub>-MoS<sub>2</sub>二维薄膜的制备方法 [P]. 
刘琪 ;
来龙杰 ;
胡继月 ;
李俊松 ;
冒国兵 .
中国专利 :CN114959837B ,2025-09-30
[10]
一种高性能Bi<sub>2</sub>Se<sub>3</sub>热电薄膜的制备方法 [P]. 
李志亮 ;
高志 ;
王淑芳 ;
侯帅航 ;
宁兴坤 .
中国专利 :CN120006215A ,2025-05-16