一种低导通电阻的沟槽MOSFET器件及其制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN201810132017.0
申请日
2018-02-09
公开(公告)号
CN108649072B
公开(公告)日
2024-02-02
发明(设计)人
殷允超 周祥瑞
申请人
江苏捷捷微电子股份有限公司
申请人地址
226200 江苏省南通市启东科技创业园兴龙路8号
IPC主分类号
H01L29/78
IPC分类号
H01L21/336 H01L27/088
代理机构
无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104
代理人
曹祖良
法律状态
授权
国省代码
江苏省 徐州市
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共 50 条
[1]
一种低导通电阻的沟槽MOSFET器件及其制造方法 [P]. 
殷允超 ;
周祥瑞 .
中国专利 :CN108649072A ,2018-10-12
[2]
一种低导通电阻的沟槽MOSFET器件 [P]. 
殷允超 ;
周祥瑞 .
中国专利 :CN207852683U ,2018-09-11
[3]
具有低导通电阻沟槽MOSFET器件及其制备方法 [P]. 
葛伟 ;
丁磊 ;
滕支刚 .
中国专利 :CN121078772A ,2025-12-05
[4]
低栅极电荷低导通电阻深沟槽功率MOSFET器件及其制造方法 [P]. 
朱袁正 ;
秦旭光 ;
丁磊 ;
叶鹏 .
中国专利 :CN102263133B ,2011-11-30
[5]
低栅极电荷低导通电阻深沟槽功率MOSFET器件 [P]. 
朱袁正 ;
秦旭光 ;
丁磊 ;
叶鹏 .
中国专利 :CN202205757U ,2012-04-25
[6]
一种低导通电阻MOSFET器件结构 [P]. 
张海峰 ;
宋宁 ;
朱小燕 ;
刘中梦雪 .
中国专利 :CN117727783A ,2024-03-19
[7]
一种低比导通电阻的分立栅MOSFET器件及其制造方法 [P]. 
易波 ;
伍争 .
中国专利 :CN113410309A ,2021-09-17
[8]
具有低特征导通电阻的功率MOSFET器件及其制造方法 [P]. 
朱袁正 ;
叶鹏 .
中国专利 :CN104241386A ,2014-12-24
[9]
具有低导通电阻的超结MOSFET及制造方法 [P]. 
姜鹏 ;
张海涛 .
中国专利 :CN112736133A ,2021-04-30
[10]
低导通电阻的深沟槽MOSFET器件结构 [P]. 
李恩求 ;
李铁生 ;
杨乐 ;
刘琦 .
中国专利 :CN112271213A ,2021-01-26