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干法刻蚀聚酰亚胺层的方法、再布线层及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311775026.9
申请日：
2023-12-21
公开(公告)号：
CN117747542A
公开(公告)日：
2024-03-22
发明(设计)人：
吕超
种景
董子晗
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01L21/768
IPC分类号：
H01L21/311
H01L23/538
代理机构：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315
代理人：
周永强
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/768申请日:20231221 |
| 2024-03-22 | 公开 | 公开 |