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碳化硅晶体生长装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311450448.9
申请日：
2023-11-02
公开(公告)号：
CN117385449A
公开(公告)日：
2024-01-12
发明(设计)人：
王旻峰
张洁
高玉强
申请人：
湖南三安半导体有限责任公司
申请人地址：
410000 湖南省长沙市高新开发区长兴路399号
IPC主分类号：
C30B23/00
IPC分类号：
C30B29/36
代理机构：
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人：
张洋
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
河北省
石家庄市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C30B 23/00申请日:20231102 |
| 2024-01-12 | 公开 | 公开 |