一种区域选择性沉积的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210813498.8

申请日：

2022-07-11

公开(公告)号：

CN115386854B

公开(公告)日：

2024-01-16

发明(设计)人：

于严淏李春

申请人：

南方科技大学

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区桃源街道学苑大道1088号

IPC主分类号：

C23C16/04

IPC分类号：

C23C16/22 C23C16/455 H01L21/768 C23C14/04 C23C14/22 C23C14/24 C23C14/35

代理机构：

深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281

代理人：

周建军;彭家恩

法律状态：

授权

国省代码：

山东省青岛市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种区域选择性沉积的方法 [P].

于严淏 ;

李春 .

中国专利 :CN115386854A ,2022-11-25

[2]

区域选择性沉积 [P].

J·黄 ;

K·K·卡谢尔 .

:CN120866812A ,2025-10-31

[3]

掩模材料的区域选择性沉积 [P].

曾文德 ;

E·阿尔塔米拉诺桑切兹 .

中国专利 :CN110504162B ,2019-11-26

[4]

改进的区域选择性沉积 [P].

S·M·吉尔莫特瓦克 ;

K·卡谢尔 .

:CN120184089A ,2025-06-20

[5]

区域选择性原子层沉积方法及工具 [P].

阿尔费雷多·马梅利 ;

艾哈迈徳·法兹 ;

弗雷迪·罗泽博姆 ;

保卢斯·威力布罗德斯·乔治·波特 .

中国专利 :CN114729445A ,2022-07-08

[6]

区域选择性原子层沉积方法及工具 [P].

阿尔费雷多·马梅利 ;

艾哈迈徳·法兹 ;

弗雷迪·罗泽博姆 ;

保卢斯·威力布罗德斯·乔治·波特 .

:CN114729445B ,2024-11-19

[7]

使用原子层沉积法的薄膜的区域选择性沉积方法以及选择性形成薄膜的基板 [P].

李汉宝蓝 ;

苏默·乔哈 .

韩国专利 :CN119096004A ,2024-12-06

[8]

用于区域选择性沉积的方法和设备 [P].

张超 ;

M·里塔拉 .

:CN120249935A ,2025-07-04

[9]

用于区域选择性沉积的保护性覆盖层 [P].

安德里亚·列奥尼 .

美国专利 :CN120883322A ,2025-10-31

[10]

选择性钝化和选择性沉积 [P].

J.W.梅斯 ;

M.E.吉文斯 ;

S.P.霍卡 ;

V.帕鲁丘里 ;

I.J.拉伊杰马克斯 ;

邓少任 ;

A.伊利贝里 ;

E.E.托伊斯 ;

D.朗格里 ;

C.德泽拉 ;

M.图米恩 .

中国专利 :CN115679286A ,2023-02-03

← 1 2 3 4 5 →