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三维沟槽电极探测器阵列及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311519432.9
申请日：
2023-11-14
公开(公告)号：
CN117577655A
公开(公告)日：
2024-02-20
发明(设计)人：
刘曼文
成文政
李志华
申请人：
中国科学院微电子研究所
申请人地址：
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
IPC主分类号：
H01L27/146
IPC分类号：
代理机构：
北京辰权知识产权代理有限公司 11619
代理人：
程杰
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
北京市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 27/146申请日:20231114 |
| 2024-02-20 | 公开 | 公开 |