用于主动加热EUV光源中的基板的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280062110.3

申请日：

2022-08-25

公开(公告)号：

CN117999857A

公开(公告)日：

2024-05-07

发明(设计)人：

N·布拉克斯玛李天启 M·A·亚乌兹

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

H05G2/00

IPC分类号：

G03F7/20

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

张宁;闫红玉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-20	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H05G 2/00申请日:20220825
2024-05-07	公开	公开

共 50 条

[1]

用于控制EUV光源中的气流的装置和方法 [P].

J·T·斯特瓦特四世 ;

M·G·兰格洛斯 ;

马悦 .

中国专利 :CN115380626A ,2022-11-22

[2]

用于EUV光源的气流装置和方法 [P].

A·哈兹拉 ;

D·埃赫亚伊 ;

J·T·斯特瓦特四世 .

:CN121003005A ,2025-11-21

[3]

控制EUV光源中的碎片的装置和方法 [P].

C·W·J·贝伦德森 ;

I·V·福门科夫 ;

A·I·厄肖夫 ;

J·T·斯特瓦特四世 .

:CN117524536A ,2024-02-06

[4]

控制EUV光源中的碎片的装置和方法 [P].

C·W·J·贝伦德森 ;

I·V·福门科夫 ;

A·I·厄肖夫 ;

J·T·斯特瓦特四世 .

中国专利 :CN110622257A ,2019-12-27

[5]

控制EUV光源中的碎片的装置和方法 [P].

M·G·兰格洛斯 ;

R·G·M·兰斯博根 ;

M·H·A·里恩德斯 ;

H·G·泰格波什 .

中国专利 :CN111903195A ,2020-11-06

[6]

控制EUV光源中的碎片的装置和方法 [P].

M·G·兰格洛斯 ;

R·G·M·兰斯博根 ;

M·H·A·里恩德斯 ;

H·G·泰格波什 .

:CN111903195B ,2025-02-21

[7]

用于加热基板的加热装置和方法 [P].

埃德温·平克 ;

菲利普·霍茨 .

中国专利 :CN103222041B ,2013-07-24

[8]

用于在EUV光源中减少来自源材料的污染的装置和方法 [P].

D·拉贝斯基 ;

A·D·拉弗格 ;

马悦 .

:CN113039868B ,2024-11-05

[9]

用于在EUV光源中减少来自源材料的污染的装置和方法 [P].

D·拉贝斯基 ;

A·D·拉弗格 ;

马悦 .

中国专利 :CN113039868A ,2021-06-25

[10]

用于加热长丝的加热装置和方法 [P].

马丁·菲舍尔 .

中国专利 :CN1506507A ,2004-06-23

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