一种标定块、缺陷检测装置及缺陷检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110374175.9

申请日：

2021-04-07

公开(公告)号：

CN113109354B

公开(公告)日：

2024-06-11

发明(设计)人：

崔国栋

申请人：

上海御微半导体技术有限公司

申请人地址：

201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区芳春路400号1幢3层

IPC主分类号：

G01N21/88

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孟金喆

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种标定块、缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

崔国栋 .

中国专利 :CN113109354A ,2021-07-13

[2]

缺陷检测装置、缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

梅红伟 ;

涂彦昕 ;

胡伟 ;

刘健犇 ;

刘立帅 ;

王黎明 .

中国专利 :CN110031511B ,2019-07-19

[3]

缺陷检测装置、缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

张勤 ;

付翔宇 ;

李国军 .

中国专利 :CN117949458A ,2024-04-30

[4]

缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

久利龙平 .

中国专利 :CN111323423A ,2020-06-23

[5]

缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

山崎隆一 .

中国专利 :CN101600957A ,2009-12-09

[6]

缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

久利龙平 .

日本专利 :CN111323423B ,2024-01-30

[7]

缺陷检测方法及缺陷检测装置 [P].

杨学红 .

中国专利 :CN109726131B ,2019-05-07

[8]

缺陷检测方法及缺陷检测装置 [P].

高志豪 ;

邓亦书 .

中国专利 :CN104914106A ,2015-09-16

[9]

缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

林彬 ;

于大维 ;

张凯 .

中国专利 :CN115541584A ,2022-12-30

[10]

一种缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

杨朝兴 .

中国专利 :CN117288757B ,2024-08-13

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