解胶装置及晶圆加工设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202321813921.0

申请日：

2023-07-11

公开(公告)号：

CN220491847U

公开(公告)日：

2024-02-13

发明(设计)人：

高阳陈丛余葛凡孙志超王永强周鑫

申请人：

江苏京创先进电子科技有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市常熟市经济技术开发区海城路2号9幢

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

代理机构：

南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297

代理人：

顾祥安

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-13	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆夹取装置及晶圆加工设备 [P].

周鑫 ;

胡小波 ;

刘炳先 ;

刘亚杰 ;

刘桂芳 .

中国专利 :CN221994448U ,2024-11-12

[2]

晶圆解胶装置 [P].

侯鼎丞 ;

刘源钦 .

中国专利 :CN203871309U ,2014-10-08

[3]

晶圆加工设备及晶圆加工设备的前盖板 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212380391U ,2021-01-19

[4]

晶圆工装夹具及晶圆加工设备 [P].

周旭 ;

胡梅 ;

袁龙翔 .

中国专利 :CN222051737U ,2024-11-22

[5]

晶圆转运机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212161773U ,2020-12-15

[6]

晶圆传输机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212380401U ,2021-01-19

[7]

晶圆吸附装置及晶圆加工设备 [P].

刘盛 ;

巫礼杰 ;

仰瑞 ;

文洪 ;

陆育梃 ;

王金生 ;

卢庆勇 ;

王安贵 ;

尹建刚 .

中国专利 :CN220341197U ,2024-01-12

[8]

晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

葛连朋 ;

杜煦 ;

周裕涵 ;

郭宝昆 ;

张军伟 .

中国专利 :CN221573890U ,2024-08-20

[9]

晶圆承载装置及晶圆加工设备 [P].

芈健 .

中国专利 :CN216624232U ,2022-05-27

[10]

晶圆承载装置和晶圆加工设备 [P].

林基明 ;

李孟轩 ;

林宏达 ;

翟虎 .

中国专利 :CN221885070U ,2024-10-22

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