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スパッタリングターゲット及び磁性膜[ja]
被引：0
申请号：
JP20200536337
申请日：
2019-05-23
公开(公告)号：
JPWO2020031461A1
公开(公告)日：
2021-08-26
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
G11B5/65
G11B5/851
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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