パターン寸法測定方法及びそれに用いる荷電粒子線顕微鏡[ja]

被引：0

申请号：

JP20110538320

申请日：

2010-09-30

公开(公告)号：

JPWO2011052339A1

公开(公告)日：

2013-03-21

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

G01B15/00

IPC分类号：

G01B15/04

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法律状态信息

共 50 条

[21]

免疫測定方法及びそれに用いられる免疫測定用キット[ja] [P].

日本专利 :JP6672353B2 ,2020-03-25

[22]

共焦点顕微鏡及びこれを用いた高さ測定方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2002023248A1 ,2004-01-22

[23]

電気抵抗測定機及びそれを用いる電気抵抗測定方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020149371A1 ,2021-11-25

[24]

電気抵抗測定機及びそれを用いる電気抵抗測定方法[ja] [P].

日本专利 :JP7500437B2 ,2024-06-17

[25]

試料帯電測定方法及び荷電粒子線装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2003007330A1 ,2004-11-04

[26]

試料電位測定方法、及び荷電粒子線装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2011007517A1 ,2012-12-20

[27]

パターンの測定方法、及びパターン測定装置[ja] [P].

日本专利 :JP6002486B2 ,2016-10-05

[28]

アロマターゼ活性の測定方法及びそれに用いる測定キット[ja] [P].

日本专利 :JPWO2006051986A1 ,2008-05-29

[29]

パターン測定装置、パターン測定用プログラム、及び、パターン測定方法[ja] [P].

HIGUCHI SEIJI ;

OGAKI RYOSUKE ;

UEDA TAKAYUKI .

日本专利 :JP2025059825A ,2025-04-10

[30]

パターン測定方法及び装置[ja] [P].

日本专利 :JP7319524B2 ,2023-08-02

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