銅エッチング液[ja]

被引：0

申请号：

JP20190529709

申请日：

2018-07-09

公开(公告)号：

JPWO2019013160A1

公开(公告)日：

2020-05-21

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

C23F1/34

IPC分类号：

H05K3/18

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日

法律状态

法律状态信息

共 50 条

[1]

銅または銅合金用のエッチング液、エッチング前処理液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009091012A1 ,2011-05-26

[2]

エッチング剤、エッチング方法およびエッチング剤調製液[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015002272A1 ,2017-02-23

[3]

シリコンエッチング液[ja] [P].

日本专利 :JP2025157627A ,2025-10-16

[4]

シリコンエッチング液[ja] [P].

NORO KOSUKE ;

HITOMI TATSUYA ;

SEIKE YOSHIKI ;

OKIMURA KOSHIRO .

日本专利 :JP2024034694A ,2024-03-13

[5]

シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2011040484A1 ,2013-02-28

[6]

シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009136558A1 ,2011-09-08

[7]

シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009044647A1 ,2011-02-03

[8]

エッチング液組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009066750A1 ,2011-04-07

[9]

エッチング液、補給液及び銅配線の形成方法[ja] [P].

日本专利 :JP5618340B1 ,2014-11-05

[10]

シリコン表面の銅支援反射防止エッチング[ja] [P].

日本专利 :JP2015512566A ,2015-04-27

← 1 2 3 4 5 →