共 50 条
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酸化物誘電体及びその製造方法、並びに固体電子装置及びその製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20180557573
申请日：
2017-10-18
公开(公告)号：
JP6892459B2
公开(公告)日：
2021-06-23
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01G4/30
IPC分类号：
H01L21/316
H01G4/33
H01L21/822
H01L27/04
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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