酸化物誘電体及びその製造方法、並びに固体電子装置及びその製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20150544236
申请日
2015-07-10
公开(公告)号
JP5932163B1
公开(公告)日
2016-06-08
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C01G33/00
IPC分类号
H01G4/12 H01G4/30 H01G4/33
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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