共 50 条
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酸化物誘電体及びその製造方法、並びに固体電子装置及びその製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20170554982
申请日：
2016-11-08
公开(公告)号：
JP6716602B2
公开(公告)日：
2020-07-01
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/316
IPC分类号：
H01B3/12
H01G4/30
H01G4/33
H01L21/336
H01L29/786
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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