保護バリア層を使用して半導体構造を製造する装置および方法[ja]

被引:0
申请号
JP20200514961
申请日
2018-09-11
公开(公告)号
JP2020533803A
公开(公告)日
2020-11-19
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/316
IPC分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
[2]
半導体構造および半導体構造を形成する方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2016502756A ,2016-01-28
[3]
半導体構造を製作する方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2019528566A ,2019-10-10
[7]
半導体構造および方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022529804A ,2022-06-24
[8]
積層構造体および半導体素子[ja] [P]. 
ANDO HIROYUKI ;
TSUKAMOTO NAOYUKI ;
KATO YUJI .
日本专利 :JP2024129608A ,2024-09-27
[10]
半導体装置および半導体装置の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2015098225A1 ,2017-03-23