曲線状のゲート酸化物プロファイルを有するスプリットゲート半導体素子[ja]

被引:0
申请号
JP20120535388
申请日
2010-10-21
公开(公告)号
JP5932651B2
公开(公告)日
2016-06-08
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L29/78
IPC分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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