低減されたゲート抵抗のためのより広いフィールドゲートを有する半導体デバイス[ja]

被引:0
申请号
JP20180530895
申请日
2016-12-28
公开(公告)号
JP2019500750A
公开(公告)日
2019-01-10
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/336
IPC分类号
H01L21/28 H01L29/423 H01L29/49 H01L29/78
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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