共 50 条
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スパッタリングターゲット、酸化物半導体薄膜、薄膜トランジスタおよび電子機器[ja]
被引：0
申请号：
JP20190534556
申请日：
2018-08-01
公开(公告)号：
JP7075934B2
公开(公告)日：
2022-05-26
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
C04B35/01
C04B35/453
C23C14/08
H01L21/336
H01L21/363
H01L29/786
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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