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表面処理組成物、およびその製造方法、ならびに表面処理組成物を用いた表面処理方法および半導体基板の製造方法[ja]
被引:0
申请号
:
JP20190504432
申请日
:
2018-02-19
公开(公告)号
:
JPWO2018163781A1
公开(公告)日
:
2019-12-26
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
H01L21/304
IPC分类号
:
C11D7/22
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
表面処理組成物、およびその製造方法、ならびに表面処理組成物を用いた表面処理方法および半導体基板の製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2018163780A1
,2019-12-26
[2]
表面処理組成物、表面処理組成物の製造方法、表面処理方法および半導体基板の製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2017169539A1
,2019-02-07
[3]
研磨用組成物およびその製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2019087818A1
,2020-12-17
[4]
表面処理水溶性無機化合物粒子及びその製造方法、並びに粒状洗剤組成物[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2004094313A1
,2006-07-13
[5]
組成物及びその製造方法[ja]
[P].
DING RENPING
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MITSUBISHI CHEMICAL CORP
MITSUBISHI CHEMICAL CORP
DING RENPING
;
CHATANI SHUNSUKE
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MITSUBISHI CHEMICAL CORP
MITSUBISHI CHEMICAL CORP
CHATANI SHUNSUKE
;
UCHIDA HISAO
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MITSUBISHI CHEMICAL CORP
MITSUBISHI CHEMICAL CORP
UCHIDA HISAO
;
SHIBATANI HARUMI
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MITSUBISHI CHEMICAL CORP
MITSUBISHI CHEMICAL CORP
SHIBATANI HARUMI
.
日本专利
:JP2024060390A
,2024-05-02
[6]
導電性高分子組成物およびその製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2011004831A1
,2012-12-20
[7]
接着剤組成物、その硬化物を含む半導体装置およびそれを用いた半導体装置の製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2016093114A1
,2017-09-14
[8]
石油樹脂、その製造方法および接着剤組成物[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2004065439A1
,2006-05-18
[9]
CMP組成物、半導体装置の製造方法及びCMP組成物の使用方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2015506386A
,2015-03-02
[10]
発泡剤およびその製造方法・形成剤、ゴム組成物、架橋発泡体およびその製造方法、ならびにゴム成形品[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2012102339A1
,2014-06-30
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