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蒸着金属酸化物含有ハードマスクのＥＵＶフォトパターニング[ja]
被引：0
申请号：
JP20160220096
申请日：
2016-11-11
公开(公告)号：
JP6902849B2
公开(公告)日：
2021-07-14
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G03F7/004
IPC分类号：
C23C16/40
G03F7/20
G03F7/32
H01L21/3065
H01L21/316
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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