共 50 条
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金属酸化物ハードマスクの選択的除去[ja]
被引：0
申请号：
JP20230539805
申请日：
2021-12-22
公开(公告)号：
JP7634101B2
公开(公告)日：
2025-02-20
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/304
IPC分类号：
C11D7/08
C11D7/26
C11D7/28
H01L21/306
H01L21/308
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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