スパッタリングターゲット並びに光情報記録媒体及びその製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20050517893
申请日
2004-07-29
公开(公告)号
JPWO2005078153A1
公开(公告)日
2007-11-22
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C14/34
IPC分类号
C04B35/01 C04B35/16 C04B35/457 C23C14/08 G11B7/24 G11B7/254 G11B7/257 G11B7/26
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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