スパッタリングターゲット並びに光情報記録媒体及びその製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20060514411
申请日
2005-03-03
公开(公告)号
JPWO2005121393A1
公开(公告)日
2008-04-10
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C14/34
IPC分类号
C04B35/14 C04B35/50 C23C14/08 G11B7/24 G11B7/254 G11B7/257 G11B7/26
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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