酸化物半導体素子、酸化物半導体素子の製造方法、酸化物半導体素子を含む表示装置、及び酸化物半導体素子を含む表示装置の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20110211441
申请日
2011-09-27
公开(公告)号
JP5905692B2
公开(公告)日
2016-04-20
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/336
IPC分类号
H01L29/786 H01L51/50 H05B33/10
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[9]
酸化物系半導体材料および半導体素子[ja] [P]. 
日本专利 :JP6150752B2 ,2017-06-21
[10]
酸化物半導体膜及び酸化物半導体膜の作製方法[ja] [P]. 
YAMAZAKI SHUNPEI ;
TSUBUKI MASASHI ;
AKIMOTO KENGO ;
OHARA HIROKI ;
HONDA TATSUYA ;
KOMATA TAKASHI ;
NONAKA YUSUKE ;
TAKAHASHI MASAHIRO ;
MIYANAGA SHOJI .
日本专利 :JP2025072563A ,2025-05-09