共 50 条
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フォトレジスト組成物、レジストパターン形成方法、重合体及び化合物[ja]
被引：0
申请号：
JP20130107521
申请日：
2013-05-21
公开(公告)号：
JP6036545B2
公开(公告)日：
2016-11-30
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G03F7/038
IPC分类号：
C08F220/28
G03F7/004
G03F7/039
G03F7/32
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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