ウェーハの研磨方法及びウェーハの研磨装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20130157157

申请日：

2013-07-29

公开(公告)号：

JP6083346B2

公开(公告)日：

2017-02-22

发明(设计)人：

申请人：

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IPC主分类号：

H01L21/304

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法律状态信息

共 50 条

[1]

ウェハーの研磨装置及びウェハーの研磨方法[ja] [P].

日本专利 :JP2015500151A ,2015-01-05

[2]

ウェーハの研磨方法およびウェーハの研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP6008053B2 ,2016-10-19

[3]

ウェーハの研磨方法およびウェーハの研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015029294A1 ,2017-03-02

[4]

研磨装置、ウェーハの研磨方法、及び、ウェーハの製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6947135B2 ,2021-10-13

[5]

ウェーハの研磨方法[ja] [P].

AMARI TAIYO ;

SUZUKI TAKAMASA .

日本专利 :JP2024111363A ,2024-08-19

[6]

ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、およびウェーハの片面研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP7757902B2 ,2025-10-22

[7]

ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、およびウェーハの片面研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP7757903B2 ,2025-10-22

[8]

ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法およびウェーハの片面研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP5750877B2 ,2015-07-22

[9]

ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、およびウェーハの片面研磨装置[ja] [P].

ARAKI TAKUYA ;

SUGIMORI KATSUHISA ;

OKUBO SHOHEI .

日本专利 :JP2024024162A ,2024-02-22

[10]

ウェーハの研磨方法及び研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP6394569B2 ,2018-09-26

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