ウェーハの研磨方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20230015790

申请日：

2023-02-06

公开(公告)号：

JP2024111363A

公开(公告)日：

2024-08-19

发明(设计)人：

AMARI TAIYO SUZUKI TAKAMASA

申请人：

DISCO ABRASIVE SYSTEMS LTD

申请人地址：

IPC主分类号：

B24B37/00

IPC分类号：

B24B7/04 B24B37/10 B24B37/12 B24B37/20 B24B57/02 B24D11/00 C09K3/14 H01L21/304

代理机构：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

ウェハーの研磨装置及びウェハーの研磨方法[ja] [P].

日本专利 :JP2015500151A ,2015-01-05

[2]

ウェーハの研磨方法及びウェーハの研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP6083346B2 ,2017-02-22

[3]

ウェーハの研磨方法およびウェーハの研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP6008053B2 ,2016-10-19

[4]

ウェーハの研磨方法およびウェーハの研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015029294A1 ,2017-03-02

[5]

研磨装置、ウェーハの研磨方法、及び、ウェーハの製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP6947135B2 ,2021-10-13

[6]

ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、およびウェーハの片面研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP7757902B2 ,2025-10-22

[7]

ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、およびウェーハの片面研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP7757903B2 ,2025-10-22

[8]

ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法およびウェーハの片面研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP5750877B2 ,2015-07-22

[9]

ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、およびウェーハの片面研磨装置[ja] [P].

ARAKI TAKUYA ;

SUGIMORI KATSUHISA ;

OKUBO SHOHEI .

日本专利 :JP2024024162A ,2024-02-22

[10]

ウェーハの片面研磨方法およびウェーハの片面研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP5900196B2 ,2016-04-06

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