ウェーハの片面研磨方法およびウェーハの片面研磨装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20120151187

申请日：

2012-07-05

公开(公告)号：

JP5900196B2

公开(公告)日：

2016-04-06

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

B24B37/34

IPC分类号：

B24B37/10 H01L21/304

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日

法律状态

法律状态信息

共 50 条

[1]

ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、およびウェーハの片面研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP7757902B2 ,2025-10-22

[2]

ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法およびウェーハの片面研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP5750877B2 ,2015-07-22

[3]

ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、およびウェーハの片面研磨装置[ja] [P].

ARAKI TAKUYA ;

SUGIMORI KATSUHISA ;

OKUBO SHOHEI .

日本专利 :JP2024024162A ,2024-02-22

[4]

ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、およびウェーハの片面研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP7757903B2 ,2025-10-22

[5]

ＳＯＩウェーハの片面研磨方法、片面研磨装置、及び研磨ＳＯＩウェーハの製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025158687A ,2025-10-17

[6]

ウェーハの研磨方法およびウェーハの研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP6008053B2 ,2016-10-19

[7]

片面研磨装置へのウェーハ貼付装置、および片面研磨装置へのウェーハ貼付方法[ja] [P].

日本专利 :JP6863220B2 ,2021-04-21

[8]

ウェーハの研磨方法およびウェーハの研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015029294A1 ,2017-03-02

[9]

ウェーハ研磨条件の決定方法、ウェーハの製造方法およびウェーハ片面研磨システム[ja] [P].

日本专利 :JP7363978B1 ,2023-10-18

[10]

ウェーハ研磨条件の決定方法、ウェーハの製造方法およびウェーハ片面研磨システム[ja] [P].

TAKAHASHI TAKESHI ;

EGASHIRA YUJI ;

NAKANO YUKI .

日本专利 :JP2024006625A ,2024-01-17

← 1 2 3 4 5 →