ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、およびウェーハの片面研磨装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20220126786

申请日：

2022-08-09

公开(公告)号：

JP2024024162A

公开(公告)日：

2024-02-22

发明(设计)人：

ARAKI TAKUYA SUGIMORI KATSUHISA OKUBO SHOHEI

申请人：

SUMCO CORP

申请人地址：

IPC主分类号：

B24B37/005

IPC分类号：

B24B37/12 B24B37/24 B24B37/30 B24B53/00 B24B53/017 B24B53/12 H01L21/304

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、およびウェーハの片面研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP7757902B2 ,2025-10-22

[2]

ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法およびウェーハの片面研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP5750877B2 ,2015-07-22

[3]

ウェーハの片面研磨方法、ウェーハの製造方法、およびウェーハの片面研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP7757903B2 ,2025-10-22

[4]

ウェーハの片面研磨方法およびウェーハの片面研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP5900196B2 ,2016-04-06

[5]

ＳＯＩウェーハの片面研磨方法、片面研磨装置、及び研磨ＳＯＩウェーハの製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025158687A ,2025-10-17

[6]

ウェーハの研磨方法およびウェーハの研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP6008053B2 ,2016-10-19

[7]

ウェーハの研磨方法およびウェーハの研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015029294A1 ,2017-03-02

[8]

ウェーハ研磨条件の決定方法、ウェーハの製造方法およびウェーハ片面研磨システム[ja] [P].

日本专利 :JP7363978B1 ,2023-10-18

[9]

ウェーハ研磨条件の決定方法、ウェーハの製造方法およびウェーハ片面研磨システム[ja] [P].

TAKAHASHI TAKESHI ;

EGASHIRA YUJI ;

NAKANO YUKI .

日本专利 :JP2024006625A ,2024-01-17

[10]

ウェハーの研磨装置及びウェハーの研磨方法[ja] [P].

日本专利 :JP2015500151A ,2015-01-05

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