磁性材スパッタリングターゲット及びその製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20180558973
申请日
2017-12-07
公开(公告)号
JPWO2018123500A1
公开(公告)日
2019-03-28
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C14/34
IPC分类号
G11B5/851
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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