共 50 条
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磁性材スパッタリングターゲット及びその製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20170503431
申请日：
2016-02-24
公开(公告)号：
JPWO2016140113A1
公开(公告)日：
2017-06-29
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
B22F1/06
B22F1/14
B22F9/08
C22C1/04
C22C19/07
C22C33/02
C22C38/00
H01F10/14
H10N50/01
H10N50/10
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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